米铱电感式传感器
电容式位移传感器微小量在不同的设计和版本可用。传感器的测量范围是不同的，他们的设计和所使用的技术来制造他们。电容传感器可在一个圆筒形设计（集成的电缆或插座）或扁平传感器（集成电缆）。位移传感器可以互换，而无需重新校准；更换传感器可以迅速完成。大多数的传感器可用于洁净室；利用超高真空也是可能的。
米铱电感式传感器
它提供了一个以太网接口，通过Web浏览器支持快速和简单的配置。没有额外的软件必须安装。易于集成到现有的网络，以太网接口也zui大程度的测量读数的准确性，有没有信号的信号噪声或损失相比，模拟输出，导致真正的纳米分辨率。
基于相同的模块化的设计原则，新dl6230解调器现在也可以被添加到capaNCDT 6200控制器和/或dl6220解调器作为一个扩展模块。以及一个以太网接口，这也提供了一个dl6230 EtherCAT接口也同步控制器/解调器的多银行。
特征
测量范围（毫米）：
0.05 | 0,2 | 0,5 | 1 | | | | 10 5 3 2
分辨率0.2纳米
线性0.01µM
带宽5千赫（-3dB）
数据速率（数字输出）39000khz
模块化–多达4个同步通道
模拟输出
通过网络接口设置和配置方便
厚度或差分计算的算术函数
capaNCDT 6500系列是一个多通道电容式位移测量系统，提供的亚纳米分辨率、温度稳定性和传感器的快速转换没有任何重新校准要求。
由于其*的分辨率和灵活性，该系统是理想的高精度位移、定位、厚度、间隙、漂移或蠕变的研发应用，测试实验室、质量保证、学术机构、半导体制造、军事测量、航空航天和国防应用在亚微米和纳米尺度的测量是必需的。
capaNCDT 6500采用*的，积极的带动下，密封，轴射频电缆，结合主动把守的三电极传感器。因此，该系统是电子泄漏的证明，创建一个保护和均匀的测量领域。
